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抛光清洗

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抛光后金属表面清洗问题

  10×10mm的小片子,材料是镍基或者钛合金,cmp后1,2个纳米的粗糙度。清洗时,先加热把蜡融掉,再用丙酮超声去蜡清洗,以后用纸扇风吹干,可表面雾蒙蒙的应该是蜡去不干净,不像干抛后那么亮。超声多次了。。也试过用丙酮泡个几天,还是差不多, 大家有没什么好方法?

  是否是在“加热把蜡融掉”的这个步骤中有什么问题呢?能否麻烦一点,直接在常温用丙酮泡掉又会如何呢?

  加热会导致表面的氧化,而且导致表面的热残余应力。这都对降低表面粗糙度数值不利

  加热会导致表面的氧化,而且导致表面的热残余应力。这都对降低表面粗糙度数值不利。...

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